一代材料、一代工藝、一代裝備。工藝與設(shè)備技術(shù)的進(jìn)步將極大的支撐并推動(dòng)化合物半導(dǎo)體的發(fā)展進(jìn)程。半導(dǎo)體制造工藝的進(jìn)步也在推動(dòng)裝備企業(yè)不斷追求技術(shù)革新。
4月19-21日，首屆中國(guó)光谷九峰山論壇在武漢召開，期間，“平行論壇2：化合物半導(dǎo)體核心裝備及儀表“如期召開。分會(huì)上，來(lái)自武漢大學(xué)、武漢理工大學(xué)、思儀科技、SPTS Technologies Limited、特思迪、至微半導(dǎo)體、愛(ài)發(fā)科、上海邦芯半導(dǎo)體、EVG集團(tuán)、費(fèi)勉儀器、北京晶亦精微、驛天諾科技、昂坤視覺(jué)、德智新材料、矽電半導(dǎo)體、MCF公司等實(shí)力派科研機(jī)構(gòu)、產(chǎn)業(yè)鏈知名企業(yè)的領(lǐng)袖代表，深入聚焦探討核心裝備及儀表研究進(jìn)展。
論壇由武漢大學(xué)工業(yè)科學(xué)研究院首席教授趙焱，哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司董事長(zhǎng)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)教授趙麗麗，北京青禾晶元半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司董事長(zhǎng)母鳳文，河北同光半導(dǎo)體股份有限公司副總經(jīng)理王巍共同主持。
》》論壇特邀嘉賓主持人：
趙麗麗
哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司董事長(zhǎng)
哈爾濱工業(yè)大學(xué)教授
趙 焱
武漢大學(xué)工業(yè)科學(xué)研究院首席教授
母鳳文
北京青禾晶元半導(dǎo)體科技有限責(zé)任公司董事長(zhǎng)
》》論壇報(bào)告嘉賓：
李照東
武漢大學(xué)工業(yè)科學(xué)研究院研究員
《原子尺度制造與異質(zhì)異構(gòu)集成》
陳怡駿
SPTS Technologies Limited技術(shù)經(jīng)理
《WBG功率器件的等離子體蝕刻和沉積工藝》
王亞海
中電科思儀科技股份有限公司自動(dòng)測(cè)試事業(yè)部副總經(jīng)理
《射頻集成電路測(cè)試挑戰(zhàn)及其應(yīng)對(duì)》
劉泳灃
北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司總經(jīng)理
《拋光技術(shù)在化合物半導(dǎo)體制造的應(yīng)用》
廖世保
至微半導(dǎo)體（上海）有限公司總經(jīng)理
《濕法設(shè)備在化合物半導(dǎo)體中的技術(shù)進(jìn)展及應(yīng)用》
左 超
愛(ài)發(fā)科商貿(mào)（上海）有限公司營(yíng)業(yè)本部副本部長(zhǎng)
《化合物半導(dǎo)體中ULVAC的量產(chǎn)制造技術(shù)》
梁 潔
上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司CTO
《刻蝕技術(shù)在SiC功率器件加工中的應(yīng)用與挑戰(zhàn)》
涂書學(xué)
EVG中國(guó)銷售經(jīng)理
《化合物半導(dǎo)體的先進(jìn)晶片鍵合應(yīng)用》
張 康
北京晶亦精微科技股份有限公司高級(jí)研發(fā)經(jīng)理
《第三代半導(dǎo)體全局平坦化技術(shù)迭代與國(guó)產(chǎn)化解決方案》
謝斌平
費(fèi)勉儀器科技(上海)有限公司CTO
《基于分子束外延的化合物器件外延和鈍化工藝設(shè)備》
韋德遠(yuǎn)
武漢驛天諾科技有限公司高級(jí)項(xiàng)目經(jīng)理
SiC/GaN高功率器件晶圓測(cè)試技術(shù)
馬鐵中
昂坤視覺(jué)（北京）科技有限公司總經(jīng)理
《化合物襯底和外延及芯片過(guò)程檢測(cè)設(shè)備的進(jìn)展》
孫叢立
武漢理工大學(xué)材料與微電子學(xué)院系主任、副研究員
武漢天工芯測(cè)科技有限公司副總經(jīng)理
《基于STEM-EELS關(guān)聯(lián)擬合的化合物半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)》
余盛杰
湖南德智新材料有限公司首席技術(shù)官
《芯片之托—化合物半導(dǎo)體設(shè)備用SiC零部件開發(fā)及應(yīng)用》
楊 波
矽電半導(dǎo)體設(shè)備(深圳)股份有限公司副總經(jīng)理
《點(diǎn)亮化合物半導(dǎo)體之光--針對(duì)化合物半導(dǎo)體探針測(cè)試技術(shù)的全面解決方案》
王 彬
北京艾姆希半導(dǎo)體科技有限公司副總經(jīng)理
《研磨拋光技術(shù)》
限時(shí)回看
（備注：以上信息未經(jīng)報(bào)告嘉賓逐一確認(rèn)，如有出入敬請(qǐng)諒解！）
