上海福賽特機(jī)器人有限公司自主研發(fā)的MOCVD AMHS智能物流系統(tǒng)，已經(jīng)在行業(yè)頭部客戶處投入運(yùn)行生產(chǎn)。該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)MOCVD工藝設(shè)備的晶圓倒片、晶圓傳輸以及數(shù)據(jù)記錄和追溯功能，有效降低了人工成本，并通過(guò)全自動(dòng)生產(chǎn)的方式減少了人工參與造成的產(chǎn)品不良，降低了石墨盤(pán)的損耗從而提高了其使用壽命。

 

　　該系統(tǒng)主要分為倒片區(qū)設(shè)備和MOCVD工藝設(shè)備區(qū)設(shè)備。倒片區(qū)設(shè)備主要包括晶圓倒片機(jī)，電子貨架、倒片區(qū)定制AGV和AGV充電設(shè)備；MOCVD工藝設(shè)備區(qū)設(shè)備主要包括MOCVD工藝設(shè)備、MOCVD中轉(zhuǎn)單元、工藝設(shè)備區(qū)定制AGV和AGV充電設(shè)備。除MOCVD工藝設(shè)備外的其它所有設(shè)備均由上海福賽特機(jī)器人有限公司提供。

 

　　MOCVD AMHS智能物流系統(tǒng)具有全自動(dòng)、高節(jié)拍、高精度、高配置、智能化、可擴(kuò)展等特點(diǎn)。

 

　　●AGV運(yùn)載石墨盤(pán)根據(jù)調(diào)度系統(tǒng)指令自動(dòng)在電子貨架、晶圓倒片機(jī)、MOCVD中轉(zhuǎn)單元之間對(duì)接；

 

　　●電子貨架存儲(chǔ)石墨盤(pán)且與中控系統(tǒng)實(shí)時(shí)通訊并監(jiān)控石墨盤(pán)狀態(tài)；

 

　　●晶圓倒片機(jī)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下石墨盤(pán)、Pocket自動(dòng)清潔、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、自動(dòng)下片、Wafer ID與盤(pán)SN綁定link后上傳至MES；

 

　　●MOCVD中轉(zhuǎn)單元與MOCVD工藝設(shè)備無(wú)縫對(duì)接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下石墨盤(pán)，收集MOCVD腔體狀態(tài)信息并與中控系統(tǒng)通訊；

 

　　●該系統(tǒng)上下片的節(jié)拍為425pcs/小時(shí)；產(chǎn)品良率≧99.9%；晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.05mm，±0.1度以內(nèi)。

 

　　MOCVD AMHS 智能物流系統(tǒng)能夠大幅提升工藝設(shè)備的運(yùn)行效率，顯著提升產(chǎn)品良率，是LED/GaN半導(dǎo)體高端制造的首選。福賽特將繼續(xù)深耕半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，在已推出的PVD晶圓倒片機(jī)，PSS晶圓上下片機(jī)，MOCVD?AMHS系統(tǒng)等獨(dú)家自主研發(fā)產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，繼續(xù)加大研發(fā)力度，進(jìn)一步優(yōu)化交付和服務(wù)質(zhì)量，成為中國(guó)領(lǐng)先的LED/GaN半導(dǎo)體AMHS設(shè)備提供商！

 

　　上海福賽特機(jī)器人有限公司是一家從事高端裝備研發(fā)和制造的高新技術(shù)企業(yè)，總部位于上海。主要業(yè)務(wù)板塊有半導(dǎo)體，新能源，新材料和智能交通系統(tǒng)。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，福賽特?fù)碛蠵VD、PSS、MOCVD等工藝制程段晶圓倒片、上下片、AMHS等多種設(shè)備，能夠大幅提升晶圓制造工廠的自動(dòng)化智能化水平和產(chǎn)品良率。相關(guān)設(shè)備已成功應(yīng)用于三安光電、華燦光電、同鑫光電等行業(yè)頭部企業(yè)。公司注冊(cè)資本1.149億元，研發(fā)人員近百人，擬于2024年在科創(chuàng)板上市。

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