近日，外網(wǎng)消息，福州大學聯(lián)合瑞典查爾姆斯理工大學在Micro LED巨量轉移制程上取得重要進展。研究團隊成功開發(fā)出一種無殘留聚合物的超高良率Micro LED激光巨量光轉移方法。該成果有望大幅提升Micro LED在AR/VR、可穿戴設備、智能眼鏡等前沿顯示應用中的商用化速度。研究團隊采用激光誘導轉移（Laser-Induced Transfer）方案，結合大數(shù)據(jù)分組分析與經驗數(shù)學模型，有效提高了芯片轉移的精準性與良率。該方法通過控制激光剝離能量在1200–1500 mJ/cm²的范圍內，實現(xiàn)了極高的芯片保留率；在后續(xù)二次轉移階段，當激光能量密度與芯片下沉深度滿足特定關系，且激光光斑尺寸為30×38微米時，轉移良率達到100%。研究團隊表示，傳統(tǒng)巨量轉移技術如靜電吸附、微印章或滾輪印章在大規(guī)模應用中存在諸多限制。例如，靜電轉移可能因電荷積聚損傷芯片，微印章受限于光刻精度，滾輪印章難以達到所需對位精度。而本次提出的激光轉移技術不僅能精準控制激光焦點深度，還避免了芯片表面損傷和轉移偏移，具備優(yōu)異的穩(wěn)定性與靈活性。研究還發(fā)現(xiàn)，芯片在轉移至第二臨時載體過程中，易因PDMS（聚二甲基硅氧烷）等聚合物基影響最終對位精度。對此，研究團隊建立了芯片下沉深度與最佳激光能量之間的數(shù)學關系，有效補償了藍寶石翹曲與粘接不平帶來的不穩(wěn)定因素，首次實現(xiàn)了無聚合物殘留、均勻下沉的精準轉移。更關鍵的是，該技術適用于多種尺寸和類型的Micro LED芯片中，具備良好的擴展性與兼容性。這為Micro LED芯片更好地轉移到TFT（薄膜晶體管）驅動基板上打下堅實基礎。未來，研究團隊計劃進一步拓展此技術在全彩Micro LED、柔性顯示、微投影等領域的應用潛力。值得注意的是，福州大學是國家新型顯示技術創(chuàng)新中心、Micro LED顯示創(chuàng)新平臺，在基礎研究、共性關鍵技術與工藝裝備、技術驗證與產業(yè)示范應用、專利與標準、學科建設與人才培養(yǎng)上具備強大的技術引領和應用經驗。目前，福州大學在μLED顯示發(fā)光芯片制備、芯片與微米級芯片（Micro IC）巨量轉移、芯片與基板鍵合等技術難點上已取得系列研究成果。近年，福州大學持續(xù)與企業(yè)及國內外高校合作開展Micro LED技術研究。其中，在企業(yè)合作方面，去年7月，福州大學、閩都實驗室、福州佳新創(chuàng)輝機電公司共同與海目星達成合作，聚焦新型顯示領域關鍵工藝的迭代升級以及新一代顛覆性技術的開拓創(chuàng)新。就在今年5月，海目星宣布，與福州大學合作成功研制出國內首款晶圓級Micro LED芯片非接觸電致發(fā)光檢測工程樣機FED-NCEL，實現(xiàn)了對紅、綠、藍三色Micro LED外延片、晶圓及臨時載板芯片的無接觸電致發(fā)光檢測。在高校合作方面，去年，福州大學曾與福建物構所、溫州理工學院、深圳大學等多所高校合作，實現(xiàn)高效近紅外量子點熒光粉、QLED器件效能提升、新型色轉換顯示性能提升等多項Micro LED相關研究成果，持續(xù)推進Micro LED技術發(fā)展。
發(fā)布日期：2025-07-28
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