三星聯(lián)合首爾國立大學研發(fā)高效柔性紅光Micro LED

發(fā)布日期：2025-07-07 瀏覽次數(shù)：334

7月1日，韓國三星先進技術研究院與首爾國立大學的聯(lián)合研究團隊在國際學術期刊《NATURE》（自然）發(fā)表最新MicroLED研究成果，其成功研發(fā)出直徑1.5微米的高效紅光InGaN基MicroLED，峰值外量子效率（EQE）達6.5%，峰值波長649nm，且具備柔性特性，可突破AR、VR等元宇宙設備微型化、高清化顯示的關鍵瓶頸。

具有不同ALD鈍化層的紅光納米LED的光致發(fā)光（PL）和電致發(fā)光（EL）（圖片來源：NATURE）

研究團隊采用1nm厚的外延氮化鋁（AlN）鈍化層技術，通過氬等離子體輔助原子層沉積（ALD）工藝，在MicroLED側壁形成單晶AlN薄膜。這種超薄鈍化層能有效減少非輻射復合，解決了傳統(tǒng)紅光MicroLED因尺寸縮?。?lt;5微米）導致的效率驟降問題。對比實驗顯示，該技術使光致發(fā)光強度提升2.5倍，發(fā)光衰減時間延長4倍，遠超傳統(tǒng)二氧化鉿（HfO?）或三氧化二鋁（Al?O?）鈍化層的性能。

而為實現(xiàn)Micro LED柔性顯示，研發(fā)團隊將MicroLED陣列倒裝鍵合到聚酰亞胺（PI）基板，通過控制界面附著力實現(xiàn)硅襯底無剝離移除，最終獲得厚度不足20μm的柔性器件。測試結果表明，這種柔性紅光MicroLED在彎曲狀態(tài)下仍保持穩(wěn)定發(fā)光，亮度均勻性良好。

柔性e-AlN鈍化紅色Micro LED的器件轉(zhuǎn)移（圖片來源：NATURE）

研究團隊表示，該成果突破了紅光MicroLED效率與尺寸、剛性基板的限制。其1.5μm的發(fā)光尺寸和6.5%的EQE，滿足超高密度（>5000ppi）顯示需求，可應用于AR眼鏡甚至電子隱形眼鏡等下一代設備。未來，通過優(yōu)化銦鎵氮外延層和集成驅(qū)動電路，有望進一步提升效率均勻性，推動全彩柔性MicroLED顯示的商業(yè)化進程。

（來源：LEDinside）

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