據(jù)韓媒報(bào)道，德國(guó)默克公司將開始在韓國(guó)生產(chǎn)化學(xué)機(jī)械拋光 (CMP) 漿料，預(yù)計(jì)將于2022年上半年開始交付。
據(jù)韓媒梳理，此前默克已經(jīng)在京畿道平澤市建設(shè)了CMP漿料生產(chǎn)線。
默克還準(zhǔn)備在韓國(guó)生產(chǎn)極紫外 (EUV) 光刻工藝所需沖洗液。該產(chǎn)品在 EUV 曝光過(guò)程后起到去除殘留物的作用。
韓媒稱，默克于 2019 年收購(gòu)的 Versum Materials 也計(jì)劃擴(kuò)大韓國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)業(yè)務(wù)，該公司向三星電子等企業(yè)供應(yīng)雙重微影技術(shù) (DPT) 材料，目前三星電子大約一半的 DPT 材料依賴 Versum Materials。
