8月24日，國產(chǎn)刻蝕設(shè)備龍頭中微公司發(fā)布了2021年半年報，報告期內(nèi)，公司實現(xiàn)營收13.39億元，同比增長36.82%；實現(xiàn)歸母凈利潤3.97億元，同比增加233.17%，若剔除股份支付費用后，公司扣非歸母凈利潤為2.06億元，同比增長413.40%。

 

分季度看，公司第二季度公司實現(xiàn)營收7.35億元，同比增長29.95%。歸母凈利潤為2.59億元，創(chuàng)單季度歷史新高，同比增長178.87%。第二季度毛利率為43.50%，同比提升9.54個百分點，凈利率為35.20%，同比提升18.79個百分點。

 

在全球半導(dǎo)體制造商持續(xù)擴產(chǎn)，以滿足芯片需求的大背景下，半導(dǎo)體設(shè)備市場需求旺盛。今年上半年，中微公司的刻蝕設(shè)備收入為8.58億元，較去年同期增長約83.8%。

 

與之相比，中微公司另一主營產(chǎn)—MOCVD設(shè)備上半年實現(xiàn)收入2.19億元，較去年同期下降約10.08%，并且該業(yè)務(wù)收入在2018年達到峰值后，2019和2020年分別同比下滑9%和34%，連續(xù)兩年下跌。

 

LED產(chǎn)業(yè)是MOCVD設(shè)備最大的市場，2021年又普遍被認為是Mini-LED商用元年，該產(chǎn)品或?qū)庸綧OCVD產(chǎn)品收入回暖。中微公司亦半年報中透露，上半年新簽訂單金額達18.89億元，同比增長超過70%，且有部分Mini-LED MOCVD設(shè)備規(guī)模訂單已進入最后簽署階段。

 

 

報告期內(nèi)，中微公司專用設(shè)備產(chǎn)品實現(xiàn)營收10.77億元，同比增長51.62%，實現(xiàn)毛利率為41.54%，同比增加8.76個百分點，其中微公司刻蝕設(shè)備收入占比達到79.67%。

 

中微公司的刻蝕設(shè)備主要包括CCP電容性高能等離子體刻蝕機和ICP電感性低能等離子體刻蝕機，設(shè)備可以應(yīng)用到65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進的集成電路加工制造生產(chǎn)線及先進封裝生產(chǎn)線。

 

今年上半年，中微公司CCP刻蝕設(shè)備中的PrimoAD-RIE、PrimoSSCADRIE等產(chǎn)品已批量應(yīng)用于國內(nèi)外一線客戶的集成電路加工制造生產(chǎn)線，在部分客戶市場占有率已進入前三位。

 

在先進邏輯電路方面，中微公司持續(xù)升級硬件性能，取得5納米及以下邏輯電路產(chǎn)線的重復(fù)訂單；在存儲電路方面，公司的刻蝕設(shè)備在64層及128層3DNAND的生產(chǎn)線得到廣泛應(yīng)用。隨著3DNAND芯片制造廠產(chǎn)能的迅速爬升，該等產(chǎn)品的重復(fù)訂單穩(wěn)步增長。

 

中微公司還透露正在布局動態(tài)存儲器的應(yīng)用，并開始工藝開發(fā)及驗證。另外在新產(chǎn)品發(fā)布方面，中微公司于今年6月15日推出首臺用于8英寸晶圓加工的CCP刻蝕設(shè)備PrimoAD-RIE200，其可滿足客戶生產(chǎn)線未來可能擴產(chǎn)的需求。

 

而在ICP刻蝕方面，中微公司的Primonanova刻蝕設(shè)備產(chǎn)品在10家客戶的生產(chǎn)線上進行驗證。在研產(chǎn)品中則包括用于存儲器芯片制造的ICP刻蝕機、7-5nmICP刻蝕機項目以及用于5-3納米邏輯芯片制造的ICP刻蝕機。

 

中信證券近期在其研報中稱，中微公司的刻蝕設(shè)備在存儲廠及晶圓代工廠份額持續(xù)提升，目前在長江存儲/華力集成招標中設(shè)備數(shù)占比14.2%/17%，設(shè)備數(shù)國內(nèi)第一。

 

伴隨著當(dāng)前晶圓廠資本開支的持續(xù)擴張，對設(shè)備需求將顯著上升，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進程有望進一步提速。

 

今年6月，中微公司收到向特定對象發(fā)行股票的募集資金凈額約81.25億元，公司擬定增募資擴充刻蝕設(shè)備產(chǎn)能630腔/年，2026年達產(chǎn)后產(chǎn)能將較2021年提升6倍，中信證券稱，公司未來有望持續(xù)受益國內(nèi)晶圓廠擴產(chǎn)+國產(chǎn)化趨勢。

 

 

中微公司的MOCVD設(shè)備此前主要聚焦藍光LED領(lǐng)域，用于生產(chǎn)氮化鎵基LED的外延片。

 

不過在報告期內(nèi)，公司MOCVD設(shè)備實現(xiàn)收入2.19億元，較去年同期下降約10.08%，公司稱，主要由于下游市場原因。

 

結(jié)合公司2019年、2020年MOCVD設(shè)備收入均同比下滑的情況。《科創(chuàng)板日報》記者了解到，2019年受中美貿(mào)易爭端影響，LED芯片市場供過于求導(dǎo)致LED芯片的市場價格大幅下滑，另外受全球新冠疫情影響，2020年LED需求有所萎縮。但從2020年下半年開始，下游顯示應(yīng)用快速回暖復(fù)蘇，LED顯示、照明市場快速回暖，其中2020年Q4開始Mini-LED的需求開始逐漸成長，推動LED行業(yè)進一步發(fā)展。

 

中微公司董秘劉曉宇在今年7月科創(chuàng)板開市兩周年峰會期間提到，現(xiàn)在已經(jīng)有非常多終端廠商使用Mini-LED產(chǎn)品，“在原來的LED領(lǐng)域，大家談得比較多的LED電視，可能只需要幾十顆到幾百顆量級，而現(xiàn)在現(xiàn)在4K、8K電視，可能就需要幾千顆到幾萬顆量級，這對整個LED顆粒需求量是呈現(xiàn)爆發(fā)式成長，而這些應(yīng)用領(lǐng)域?qū)υO(shè)備端提出非常高的要求，尤其是在產(chǎn)品的重復(fù)性、穩(wěn)定性，可靠性等維度”。

 

今年6月，中微公司發(fā)布了專為高性能Mini-LED量產(chǎn)而設(shè)計的PrismoUniMaxMOCVD設(shè)備，劉曉宇稱，公司的新產(chǎn)品很好解決了產(chǎn)品良率提升的問題，另外該產(chǎn)品在技術(shù)也進行了非常多的創(chuàng)新。半年報顯示，該設(shè)備的加工容量可以延伸到生長164片4英寸或72片6英寸晶片。

 

中微公司透露，2021年上半年新簽訂單金額達18.89億元，同比增長超過70%，且有部分Mini-LED MOCVD設(shè)備規(guī)模訂單已進入最后簽署階段。

 

另外在其他財務(wù)數(shù)據(jù)方面，報告期內(nèi)，公司研發(fā)費用支出投入總額為2.86億元，其中包含股份支付費用5504.32萬元。若剔除股份支付費用的影響，2021年上半年研發(fā)投入總額為2.3億元，較去年同期增長11.5%。