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臺大、臺積電與麻省理工共同研發(fā):利用半金屬鉍,可有助實現(xiàn)半導(dǎo)體1nm制程

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2021-05-18 來源:電子信息產(chǎn)業(yè)網(wǎng)瀏覽次數(shù):453
臺積電

在IBM 剛剛官宣研發(fā)成功2nm芯片不久,臺積電也有了新的動作!臺灣大學(xué)、臺積電與麻省理工學(xué)院共同發(fā)表研究成果,首度提出利用半金屬鉍(Bi)作為二維材料的接觸電極,可大幅降低電阻并提高電流,使其效能幾與硅一致,有助實現(xiàn)未來半導(dǎo)體1nm的制程。據(jù)悉,這項研究已在《Nature》期刊公開發(fā)布。
 
此項技術(shù)融合了多方智慧的結(jié)晶。據(jù)悉,美國麻省理工團隊首先發(fā)現(xiàn)在二維材料上搭配半金屬鉍(Bi)的電極,能大幅降低電阻并提高傳輸電流。隨后臺積電技術(shù)研究部門將鉍(Bi)沉積制程進行優(yōu)化,臺灣大學(xué)團隊并運用氦離子束微影系統(tǒng)將元件通道成功縮小至納米尺寸,最終這項研究成果獲得了突破性的進展。
 
臺灣大學(xué)在14日指出,目前,半導(dǎo)體主流制程主要采用硅作為主流材料。然而,隨著摩爾定律不斷延伸,芯片制程不斷縮小,芯片單位面積能容納的電晶體數(shù)目,也將逼近半導(dǎo)體主流材料硅的物理極限,芯片的性能也很難再進一步提升。盡管一直以來科學(xué)界對二維材料寄予厚望,卻苦于無法解決二維材料高電阻、及低電流等問題,以至于取代硅成為新興半導(dǎo)體材料一事,始終是空中樓閣??梢?,此次利用半金屬鉍(Bi)作為二維材料的接觸電極可謂是邁向1nm甚至更先進制程的關(guān)鍵一步
 
對此,復(fù)旦大學(xué)教授周鵬認(rèn)為,此項技術(shù)的突破,也給我國半導(dǎo)體的發(fā)展帶來了新的思路。“這項新技術(shù)的突破,將解決二維半導(dǎo)體進入產(chǎn)業(yè)界的主要問題,是集成電路能在后摩爾時代繼續(xù)前進的重要技術(shù)。二維半導(dǎo)體已被國際主要前沿集成電路研發(fā)機構(gòu)重金投入,不管是在工藝突破還是新器件結(jié)構(gòu)及設(shè)計制造方面,我國都處于同等位置,應(yīng)該進一步加強優(yōu)勢,補足短板,在新一代集成電路關(guān)鍵技術(shù)上與國際機構(gòu)形成競爭互補關(guān)系。”周鵬向《中國電子報》記者說道。
 
隨著芯片制程的不斷延伸,每突破一步都是非常困難,在未來1nm甚至1nm以下的工藝中,如何能夠把控好性能與功耗之間的平衡是目前需要突破的一大技術(shù)瓶頸。對此,周鵬認(rèn)為,在未來性能與功耗平衡上,此次二維半導(dǎo)體的接觸電極技術(shù)的突破,將推動高性能低功耗CPU及存儲器的發(fā)展。未來,在關(guān)鍵工藝上實現(xiàn)碳硅融合也將是我國取得競爭優(yōu)勢的重要砝碼。
 
 
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