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鄭州大學(xué)教授劉玉懷:通過(guò)MOVPE在AlN /藍(lán)寶石模板上外延生長(zhǎng)h-BN薄膜

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2019-11-27 來(lái)源:中國(guó)半導(dǎo)體照明網(wǎng)瀏覽次數(shù):448
11月25-27日,由深圳市龍華區(qū)科技創(chuàng)新局特別支持,國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)主辦,深圳第三代半導(dǎo)體研究院與北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司共同承辦的第十六屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA 2019)暨2019國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS 2019)在深圳會(huì)展中心召開(kāi)。
 
11月26日上午,“超寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)” 分會(huì)如期召開(kāi)。本屆分會(huì)由蘇州鍇威特半導(dǎo)體股份有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所、國(guó)家電網(wǎng)全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院有限公司、英諾賽科科技有限公司協(xié)辦。
 
以金剛石、氧化鎵、氮化鋁、氮化硼等為代表的超寬禁帶半導(dǎo)體材料的研究和應(yīng)用,近年來(lái)不斷獲得技術(shù)的突破。超寬帶半導(dǎo)體材料具有更高的禁帶寬度、熱導(dǎo)率以及材料穩(wěn)定性,在新一代深紫外光電器件、高壓大功率電力電子器件等意義重大的應(yīng)用領(lǐng)域具有顯著的優(yōu)勢(shì)和巨大的發(fā)展?jié)摿Α?br />
日本國(guó)立佐賀大學(xué)同步輻射光應(yīng)用研究中心主任、電氣電子系教授郭其新,中國(guó)科學(xué)院微電子所研究員,西安電子科技大學(xué)教授張金風(fēng),瑞士Microdiamant研發(fā)部門(mén)負(fù)責(zé)人Christian JENTGENS,鄭州大學(xué)教授、日本名古屋大學(xué)客座教授劉玉懷,西安交通大學(xué)副教授李強(qiáng),北京大學(xué)劉放、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)趙曉龍等來(lái)自中外嘉賓聯(lián)袂帶來(lái)精彩報(bào)告。
劉玉懷
會(huì)上,鄭州大學(xué)教授劉玉懷做了題為“氮化鋁/藍(lán)寶石模板上六方氮化硼薄膜的有機(jī)金屬氣相外延研究”的報(bào)告,介紹了多層h-BN膜的表面和結(jié)晶度、微觀結(jié)構(gòu)和鍵合結(jié)構(gòu)。h-BN在AlN上的生長(zhǎng)模型等研究?jī)?nèi)容。研究成功證明了通過(guò)脈沖模式MOVPE在AlN模板上直接生長(zhǎng)單晶多層h-BN,在AlN表面上形成連續(xù)和聚結(jié)的多層h-BN,提出了初始帽形核的生長(zhǎng)模型,然后在AlN上進(jìn)行h-BN的二維橫向生長(zhǎng)。
 
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