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蘇州鍇威特半導(dǎo)體股份有限公司總裁丁國(guó)華:改進(jìn)碳化硅MOSFET RONSP的器件結(jié)構(gòu)和工藝研究

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2019-11-27 來源:中國(guó)半導(dǎo)體照明網(wǎng)瀏覽次數(shù):997
  碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表,也代表了功率電子器件的發(fā)展方向,在新一代高效率、小尺寸的電力轉(zhuǎn)換與管理系統(tǒng)、新能源汽車、工業(yè)電機(jī)等領(lǐng)域具有巨大的發(fā)展?jié)摿Α?/div>
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  2019年11月25-27日,第十六屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA 2019)暨2019國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS 2019)在深圳會(huì)展中心盛大舉行。作為論壇重要的技術(shù)分會(huì),“功率電子器件及封裝技術(shù)Ⅰ”論壇于26日上午成功召開。會(huì)議由國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟主辦,深圳第三代半導(dǎo)體研究院與北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司共同承辦,得到了深圳市龍華區(qū)科技創(chuàng)新局、德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司、國(guó)家電網(wǎng)全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所、英諾賽科科技有限公司、蘇州鍇威特半導(dǎo)體股份有限公司的協(xié)辦支持。該會(huì)由分會(huì)主席浙江大學(xué)特聘教授、電氣工程學(xué)院院長(zhǎng)盛況和中山大學(xué)教授劉揚(yáng)共同主持。
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  會(huì)上,邀請(qǐng)到了蘇州鍇威特半導(dǎo)體股份有限公司總裁丁國(guó)華帶來了《改進(jìn)碳化硅MOSFET RONSP的器件結(jié)構(gòu)和工藝研究》主題報(bào)告。丁國(guó)華,蘇州鍇威特半導(dǎo)體有限公司總裁,1986年本科畢業(yè)于西安交通大學(xué)半導(dǎo)體物理與器件專業(yè),1991年?yáng)|南大學(xué)半導(dǎo)體物理與器件專業(yè)碩士畢業(yè)。1986年7月至1997年12月在中國(guó)華晶電子集團(tuán)公司工作,歷任產(chǎn)品工藝工程師、產(chǎn)品設(shè)計(jì)工程師及分廠技術(shù)副廠長(zhǎng)等職務(wù)。2003年5月創(chuàng)立無錫硅動(dòng)力微電子股份有限公司,先后任公司副董事長(zhǎng),總經(jīng)理、董事長(zhǎng)等職務(wù)。曾被無錫政府授予優(yōu)秀總經(jīng)理。在2015年加盟蘇州鍇威特半導(dǎo)體股份有限公司,任公司總裁,獲蘇州姑蘇領(lǐng)軍人才。公司致力于功率半導(dǎo)體器件與功率集成芯片的開發(fā)與銷售。公司于2018年成功推出量產(chǎn)級(jí)1200V SiC MOSFET,公司2018年獲江蘇省“科技小巨人企業(yè)”稱號(hào)。
 
  丁國(guó)華總裁表示,碳化硅MOSFET由于工藝制造上的難點(diǎn)和材料限制,無法像硅基MOSFET利用自對(duì)準(zhǔn)工藝形成溝道,導(dǎo)致溝道長(zhǎng)度的設(shè)計(jì)必須考慮光刻套刻偏差的影響,不能設(shè)計(jì)為最優(yōu)尺寸,以及在SiC-Sio2界面的缺陷密度導(dǎo)致溝道遷移率下降,都對(duì)RONSP造成不利影響。如何降低光刻套刻偏差對(duì)溝道長(zhǎng)度的影響以及優(yōu)化SiC-SiO2界面的缺陷密度,提高溝道遷移率。內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)資料整理,如有出入敬請(qǐng)諒解
 
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