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華中科技大學(xué)教授陳長清:深紫外DUV-LED發(fā)光效率的提升策略

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2018-11-01 來源:中國半導(dǎo)體照明網(wǎng)瀏覽次數(shù):472
  2018年10月23-25日,由國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)與深圳市龍華區(qū)政府聯(lián)合主辦的第十五屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA 2018)暨2018國際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS 2018)在深圳會展中心舉行。
 
  10月24日下午,“固態(tài)紫外器件技術(shù)”分會如期舉行,分會重點關(guān)注以氮化鋁鎵、氮化鎵為代表的紫外發(fā)光材料,以碳化硅、氮化鎵為代表的紫外探測材料,高效量子結(jié)構(gòu)設(shè)計及外延,以及發(fā)光二極管、激光器、光電探測器等核心器件的關(guān)鍵制備技術(shù)。
 
  美國Crystal IS.聯(lián)合創(chuàng)始人Leo SCHOWALTER,中科院半導(dǎo)體研究所研究員、中科院半導(dǎo)體照明研發(fā)中心副主任王軍喜,華中科技大學(xué)教授陳長清,北京大學(xué)副教授許福軍,三重大學(xué)助理教授永松謙太郎,中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所研究員孫錢,廈門大學(xué)教授黃凱,中南大學(xué)教授汪煉成,南京大學(xué)蘇琳琳等中外同行專家?guī)砭蕡蟾?,并分享各自的最新研究成果。廈門大學(xué)教授康俊勇,中科院半導(dǎo)體研究所研究員、中科院半導(dǎo)體照明研發(fā)中心副主任王軍喜共同主持了本屆分會。
陳長清
 
  AlGaN基深紫外LED吸引了人們越來越多的注意,因為其在殺菌,水凈化,皮膚病治療,生物探測等方面有著潛在的應(yīng)用前景。由于藍(lán)寶石襯底和AlGaN材料之間存在著很大的晶格失配和熱失配,因而,多量子阱有源區(qū)的生長伴隨著較高的位錯密度,這導(dǎo)致更多非輻射復(fù)合的發(fā)生從而只能獲得較低的內(nèi)量子效率。所以,AlGaN基的深紫外LED目前仍未普及應(yīng)用的主要原因是受限于其較低的量子效率。
 
  華中科技大學(xué)教授陳長清帶來了深紫外DUV-LED發(fā)光效率的提升策略的報告,結(jié)合具體的研究過程,他表示研究實現(xiàn)了在納米圖形化襯底上生長無裂紋的厚膜AlN層,納米圖形化襯底的實現(xiàn)是通過步進(jìn)光刻機(jī)和ICP的刻蝕,其圖案可以得到良好的控制和重復(fù)。AlN外延層的厚度可超過10微米,表面達(dá)到了原子級的平整。X射線衍射測量的(0002)和(1012)面的半高寬分別為165和185弧秒,這表明AlN外延層有著很好的晶體質(zhì)量,從而可改善LED的內(nèi)量子效率。此外,深紫外LED芯片內(nèi)部的全反射會嚴(yán)重影響光提取效率和外量子效率。此外,在藍(lán)寶石背面制備的蛾眼微結(jié)構(gòu)能有效改善深紫外LED的光提取效率和外量子效率。
 
  (內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)場資料整理,如有出入敬請諒解)
 
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關(guān)鍵詞: 固態(tài)紫外 LED SSLCHINA
 
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